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日立掃描電鏡使用范圍及結構組成

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時間:2019-09-19 11:53:39

日立掃描電鏡使用范圍及結構組成


日立掃描電鏡被廣泛地應用于化學、生物、醫學、冶金、資料、半導體制造、微電路檢查等各個研究范疇和工業部門。制樣簡單、放大倍數可調規模寬、圖畫的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應等,關于導電資料,可直接放入樣品室進行剖析,關于導電性差或絕緣的樣品則需求噴鍍導電層。


日立掃描電鏡使用范圍及結構組成


電子光學系統包括電子槍、電磁透鏡、掃描線圈、樣品室等,首要用于發生一束能量散布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。電磁透鏡:熱發射電子需求電磁透鏡來成束,所以在用熱發射電子槍的掃描電鏡上,電磁透鏡必不可少。通常會裝配兩組:會聚透鏡和物鏡,會聚透鏡只是用于會聚電子束,與成象會焦無關;物鏡負責將電子束的焦點會聚到樣品外表。掃描線圈的作用是使電子束偏轉,并在樣品外表作有規則的掃動,電子束在樣品上的掃描動作和顯像管上的掃描動作堅持嚴格同步,因為它們是由同一掃描發生器控制的。


掃描電子顯微鏡是使用資料外表微區的特征(如形貌、原子序數、化學成分、或晶體結構等)的差異,在電子束作用下通過試樣不同區域發生不同的亮度差異,然后取得具有一定襯度的圖畫。成像信號是二次電子、背散射電子或吸收電子,其間二次電子是zui首要的成像信號。其成像原理圖,高能電子束轟擊樣品外表,激發出樣品外表的各種物理信號,再使用不同的信號探測器接受物理信號轉換成圖畫信息。




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